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[26476] 2021-07-15_CPU是如何制造出来的（附高清全程图解）

文档创建者：s7ckTeam
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最后更新：2025-01-19
2021-07-15_CPU是如何制造出来的（附高清全程图解） C P U 是 如 何 制 造 出 来 的 （ 附 高 清 全 程 图 解 ） L i n u x 学 习   2 0 2 1 - 0 7 - 1 5 来 自 公 众 号 ： 来 自 公 众 号 ： 传 感 器 技 术 传 感 器 技 术 C P U 是 现 代 计 算 机 的 核 心 部 件 ， 又 称 为 “ 微 处 理 器 ” 。 对 于 P C 而 言 ， C P U 的 规 格 与 频 率 常 常 被 用 来 作 为 衡 量 一 台 电 脑 性 能 强 弱 重 要 指 标 。 I n t e l x 8 6 架 构 已 经 经 历 了 二 十 多 个 年 头 ， 而 x 8 6 架 构 的 C P U 对 我 们 大 多 数 人 的 工 作 、 生 活 影 响 颇 为 深 远 。 许 多 对 电 脑 知 识 略 知 一 二 的 朋 友 大 多 会 知 道 C P U 里 面 最 重 要 的 东 西 就 是 晶 体 管 了 ， 提 高 C P U 的 速 度 ， 最 重 要 的 一 点 说 白 了 就 是 如 何 在 相 同 的 C P U 面 积 里 面 放 进 去 更 加 多 的 晶 体 管 ， 由 于 C P U 实 在 太 小 ， 太 精 密 ， 里 面 组 成 了 数 目 相 当 多 的 晶 体 管 ， 所 以 人 手 是 绝 对 不 可 能 完 成 的 ， 只 能 够 通 过 光 刻 工 艺 来 进 行 加 工 的 。 这 就 是 为 什 么 一 块 C P U 里 面 为 什 么 可 以 数 量 如 此 之 多 的 晶 体 管 。 晶 体 管 其 实 就 是 一 个 双 位 的 开 关 ： 即 开 和 关 。 如 果 您 回 忆 起 基 本 计 算 的 时 代 ， 那 就 是 一 台 计 算 机 需 要 进 行 工 作 的 全 部 。 两 种 选 择 ， 开 和 关 ， 对 于 机 器 来 说 即 0 和 1 。 那 么 您 将 如 何 制 作 一 个 C P U 呢 ？ 在 今 天 的 文 章 中 ， 我 们 将 一 步 一 步 的 为 您 讲 述 中 央 处 理 器 从 一 堆 沙 子 到 一 个 功 能 强 大 的 集 成 电 路 芯 片 的 全 过 程 。   制 造 制 造 C P U 的 基 本 原 料 的 基 本 原 料   如 果 问 及 C P U 的 原 料 是 什 么 ， 大 家 都 会 轻 而 易 举 的 给 出 答 案 — 是 硅 。 这 是 不 假 ， 但 硅 又 来 自 哪 里 呢 ？ 其 实 就 是 那 些 最 不 起 眼 的 沙 子 。 难 以 想 象 吧 ， 价 格 昂 贵 ， 结 构 复 杂 ， 功 能 强 大 ， 充 满 着 神 秘 感 的 C P U 竟 然 来 自 那 根 本 一 文 不 值 的 沙 子 。 当 然 这 中 间 必 然 要 经 历 一 个 复 杂 的 制 造 过 程 才 行 。 不 过 不 是 随 便 抓 一 把 沙 子 就 可 以 做 原 料 的 ， 一 定 要 精 挑 细 选 ， 从 中 提 取 出 最 最 纯 净 的 硅 原 料 才 行 。 试 想 一 下 ， 如 果 用 那 最 最 廉 价 而 又 储 量 充 足 的 原 料 做 成 C P U ， 那 么 成 品 的 质 量 会 怎 样 ， 你 还 能 用 上 像
现 在 这 样 高 性 能 的 处 理 器 吗 ？ 除 去 硅 之 外 ， 制 造 C P U 还 需 要 一 种 重 要 的 材 料 就 是 金 属 。 目 前 为 止 ， 铝 已 经 成 为 制 作 处 理 器 内 部 配 件 的 主 要 金 属 材 料 ， 而 铜 则 逐 渐 被 淘 汰 ， 这 是 有 一 些 原 因 的 ， 在 目 前 的 C P U 工 作 电 压 下 ， 铝 的 电 迁 移 特 性 要 明 显 好 于 铜 。 所 谓 电 迁 移 问 题 ， 就 是 指 当 大 量 电 子 流 过 一 段 导 体 时 ， 导 体 物 质 原 子 受 电 子 撞 击 而 离 开 原 有 位 置 ， 留 下 空 位 ， 空 位 过 多 则 会 导 致 导 体 连 线 断 开 ， 而 离 开 原 位 的 原 子 停 留 在 其 它 位 置 ， 会 造 成 其 它 地 方 的 短 路 从 而 影 响 芯 片 的 逻 辑 功 能 ， 进 而 导 致 芯 片 无 法 使 用 。   除 了 这 两 样 主 要 的 材 料 之 外 ， 在 芯 片 的 设 计 过 程 中 还 需 要 一 些 种 类 的 化 学 原 料 ， 它 们 起 着 不 同 的 作 用 ， 这 里 不 再 赘 述 。   C P U 制 造 的 准 备 阶 段 制 造 的 准 备 阶 段   在 必 备 原 材 料 的 采 集 工 作 完 毕 之 后 ， 这 些 原 材 料 中 的 一 部 分 需 要 进 行 一 些 预 处 理 工 作 。 而 作 为 最 主 要 的 原 料 ， 硅 的 处 理 工 作 至 关 重 要 。 首 先 ， 硅 原 料 要 进 行 化 学 提 纯 ， 这 一 步 骤 使 其 达 到 可 供 半 导 体 工 业 使 用 的 原 料 级 别 。 而 为 了 使 这 些 硅 原 料 能 够 满 足 集 成 电 路 制 造 的 加 工 需 要 ， 还 必 须 将 其 整 形 ， 这 一 步 是 通 过 溶 化 硅 原 料 ， 然 后 将 液 态 硅 注 入 大 型 高 温 石 英 容 器 而 完 成 的 。
而 后 ， 将 原 料 进 行 高 温 溶 化 。 中 学 化 学 课 上 我 们 学 到 过 ， 许 多 固 体 内 部 原 子 是 晶 体 结 构 ， 硅 也 是 如 此 。 为 了 达 到 高 性 能 处 理 器 的 要 求 ， 整 块 硅 原 料 必 须 高 度 纯 净 ， 及 单 晶 硅 。 然 后 从 高 温 容 器 中 采 用 旋 转 拉 伸 的 方 式 将 硅 原 料 取 出 ， 此 时 一 个 圆 柱 体 的 硅 锭 就 产 生 了 。 从 目 前 所 使 用 的 工 艺 来 看 ， 硅 锭 圆 形 横 截 面 的 直 径 为 2 0 0 毫 米 。 不 过 现 在 i n t e l 和 其 它 一 些 公 司 已 经 开 始 使 用 3 0 0 毫 米 直 径 的 硅 锭 了 。 在 保 留 硅 锭 的 各 种 特 性 不 变 的 情 况 下 增 加 横 截 面 的 面 积 是 具 有 相 当 的 难 度 的 ， 不 过 只 要 企 业 肯 投 入 大 批 资 金 来 研 究 ， 还 是 可 以 实 现 的 。 i n t e l 为 研 制 和 生 产 3 0 0 毫 米 硅 锭 而 建 立 的 工 厂 耗 费 了 大 约 3 5 亿 美 元 ， 新 技 术 的 成 功 使 得 i n t e l 可 以 制 造 复 杂 程 度 更 高 ， 功 能 更 强 大 的 集 成 电 路 芯 片 。 而 2 0 0 毫 米 硅 锭 的 工 厂 也 耗 费 了 1 5 亿 美 元   在 制 成 硅 锭 并 确 保 其 是 一 个 绝 对 的 圆 柱 体 之 后 ， 下 一 个 步 骤 就 是 将 这 个 圆 柱 体 硅 锭 切 片 ， 切 片 越 薄 ， 用 料 越 省 ， 自 然 可 以 生 产 的 处 理 器 芯 片 就 更 多 。 切 片 还 要 镜 面 精 加 工 的 处 理 来 确 保 表 面 绝 对 光 滑 ， 之 后 检 查 是 否 有 扭 曲 或 其 它 问 题 。 这 一 步 的 质 量 检 验 尤 为 重 要 ， 它 直 接 决 定 了 成 品 C P U 的 质 量 。   新 的 切 片 中 要 掺 入 一 些 物 质 而 使 之 成 为 真 正 的 半 导 体 材 料 ， 而 后 在 其 上 刻 划 代 表 着 各 种 逻 辑 功 能 的 晶 体 管 电 路 。 掺 入 的 物 质 原 子 进 入 硅 原 子 之 间 的 空 隙 ， 彼 此 之 间 发 生 原 子 力 的 作 用 ， 从 而 使 得 硅 原 料 具 有 半 导 体 的 特 性 。 今 天 的 半 导 体 制 造 多 选 择 C M O S 工 艺 （ 互 补 型 金 属 氧 化 物 半 导 体 ） 。 其 中 互 补 一 词 表 示 半 导 体 中 N 型 M O S 管 和 P 型 M O S 管 之 间 的 交 互 作 用 。 而 N 和 P 在 电 子 工 艺 中 分 别 代 表 负 极 和 正 极 。 多 数 情 况 下 ， 切 片 被 掺 入 化 学 物 质 而 形 成 P 型 衬 底 ， 在 其 上 刻 划 的 逻 辑 电 路 要 遵 循 n M O S 电 路 的 特 性 来 设 计 ， 这 种 类 型 的 晶 体 管 空 间 利 用 率 更 高 也 更 加 节 能 。 同 时 在 多 数 情 况 下 ， 必 须 尽 量 限 制 p M O S 型 晶 体 管 的 出 现 ， 因 为 在 制 造 过 程 的 后 期 ， 需 要 将 N 型 材 料 植 入 P 型 衬 底 当 中 ， 而 这 一 过 程 会 导 致 p M O S 管 的 形 成 。   在 掺 入 化 学 物 质 的 工 作 完 成 之 后 ， 标 准 的 切 片 就 完 成 了 。 然 后 将 每 一 个 切 片 放 入 高 温 炉 中 加 热 ， 通 过 控 制 加 温 时 间 而 使 得 切 片 表 面 生 成 一 层 二 氧 化 硅 膜 。 通 过 密 切 监 测 温 度 ， 空 气 成 分 和 加 温 时 间 ， 该 二 氧 化 硅 层 的 厚 度 是 可 以 控 制 的 。 在 i n t e l 的 9 0 纳 米 制 造 工 艺 中 ， 门 氧 化 物 的 宽 度 小 到 了 惊 人 的 5 个 原 子 厚 度 。 这 一 层 门 电 路 也 是 晶 体 管 门 电 路 的 一 部 分 ， 晶 体 管 门 电 路 的 作 用 是 控 制 其 间 电 子 的 流 动 ， 通 过 对 门 电 压 的 控 制 ， 电 子 的 流 动 被 严 格 控 制 ， 而 不 论 输 入 输 出 端 口 电 压 的 大 小 。  
准 备 工 作 的 最 后 一 道 工 序 是 在 二 氧 化 硅 层 上 覆 盖 一 个 感 光 层 。 这 一 层 物 质 用 于 同 一 层 中 的 其 它 控 制 应 用 。 这 层 物 质 在 干 燥 时 具 有 很 好 的 感 光 效 果 ， 而 且 在 光 刻 蚀 过 程 结 束 之 后 ， 能 够 通 过 化 学 方 法 将 其 溶 解 并 除 去 。   光 刻 蚀 光 刻 蚀   这 是 目 前 的 C P U 制 造 过 程 当 中 工 艺 非 常 复 杂 的 一 个 步 骤 ， 为 什 么 这 么 说 呢 ？ 光 刻 蚀 过 程 就 是 使 用 一 定 波 长 的 光 在 感 光 层 中 刻 出 相 应 的 刻 痕 ，   由 此 改 变 该 处 材 料 的 化 学 特 性 。 这 项 技 术 对 于 所 用 光 的 波 长 要 求 极 为 严 格 ， 需 要 使 用 短 波 长 的 紫 外 线 和 大 曲 率 的 透 镜 。 刻 蚀 过 程 还 会 受 到 晶 圆 上 的 污 点 的 影 响 。 每 一 步 刻 蚀 都 是 一 个 复 杂 而 精 细 的 过 程 。 设 计 每 一 步 过 程 的 所 需 要 的 数 据 量 都 可 以 用 1 0 G B 的 单 位 来 计 量 ， 而 且 制 造 每 块 处 理 器 所 需 要 的 刻 蚀 步 骤 都 超 过 2 0 步 （ 每 一 步 进 行 一 层 刻 蚀 ） 。 而 且 每 一 层 刻 蚀 的 图 纸 如 果 放 大 许 多 倍 的 话 ， 可 以 和 整 个 纽 约 市 外 加 郊 区 范 围 的 地 图 相 比 ， 甚 至 还 要 复 杂 ， 试 想 一 下 ， 把 整 个 纽 约 地 图 缩 小 到 实 际 面 积 大 小 只 有 1 0 0 个 平 方 毫 米 的 芯 片 上 ， 那 么 这 个 芯 片 的 结 构 有 多 么 复 杂 ， 可 想 而 知 了 吧 。   当 这 些 刻 蚀 工 作 全 部 完 成 之 后 ， 晶 圆 被 翻 转 过 来 。 短 波 长 光 线 透 过 石 英 模 板 上 镂 空 的 刻 痕 照 射 到 晶 圆 的 感 光 层 上 ， 然 后 撤 掉 光 线 和 模 板 。 通 过 化 学 方 法 除 去 暴 露 在 外 边 的 感 光 层 物 质 ， 而 二 氧 化 硅 马 上 在 陋 空 位 置 的 下 方 生 成 。 掺 杂 掺 杂   在 残 留 的 感 光 层 物 质 被 去 除 之 后 ， 剩 下 的 就 是 充 满 的 沟 壑 的 二 氧 化 硅 层 以 及 暴 露 出 来 的 在 该 层 下 方 的 硅 层 。 这 一 步 之 后 ， 另 一 个 二 氧 化 硅 层 制 作 完 成 。 然 后 ， 加 入 另 一 个 带 有 感 光 层 的 多 晶 硅 层 。 多 晶 硅 是 门 电 路 的 另 一 种 类 型 。 由 于 此 处 使 用 到 了 金 属 原 料 （ 因 此 称 作 金 属 氧 化 物 半 导 体 ） ， 多 晶 硅 允 许 在 晶 体 管 队 列 端 口 电 压 起 作 用 之 前 建 立 门 电 路 。 感 光 层 同 时 还 要 被 短 波 长 光 线 透 过 掩 模 刻 蚀 。 再 经 过 一 部 刻 蚀 ， 所 需 的 全 部 门 电 路 就 已 经 基 本 成 型 了 。 然 后 ， 要 对 暴 露 在 外 的 硅 层 通 过 化 学 方 式 进 行 离 子 轰 击 ， 此 处 的 目 的 是 生 成 N 沟 道 或 P 沟 道 。 这 个 掺 杂 过 程 创 建 了 全 部 的 晶 体 管 及 彼 此 间 的 电 路 连 接 ， 没 个 晶 体 管 都 有 输 入 端 和 输 出 端 ， 两 端 之 间 被 称 作 端 口 。   重 复 这 一 过 程 重 复 这 一 过 程  
从 这 一 步 起 ， 你 将 持 续 添 加 层 级 ， 加 入 一 个 二 氧 化 硅 层 ， 然 后 光 刻 一 次 。 重 复 这 些 步 骤 ， 然 后 就 出 现 了 一 个 多 层 立 体 架 构 ， 这 就 是 你 目 前 使 用 的 处 理 器 的 萌 芽 状 态 了 。 在 每 层 之 间 采 用 金 属 涂 膜 的 技 术 进 行 层 间 的 导 电 连 接 。 今 天 的 P 4 处 理 器 采 用 了 7 层 金 属 连 接 ， 而 A t h l o n 6 4 使 用 了 9 层 ， 所 使 用 的 层 数 取 决 于 最 初 的 版 图 设 计 ， 并 不 直 接 代 表 着 最 终 产 品 的 性 能 差 异 。   测 试 测 试   封 装 测 试 过 程 封 装 测 试 过 程   接 下 来 的 几 个 星 期 就 需 要 对 晶 圆 进 行 一 关 接 一 关 的 测 试 ， 包 括 检 测 晶 圆 的 电 学 特 性 ， 看 是 否 有 逻 辑 错 误 ， 如 果 有 ， 是 在 哪 一 层 出 现 的 等 等 。 而 后 ， 晶 圆 上 每 一 个 出 现 问 题 的 芯 片 单 元 将 被 单 独 测 试 来 确 定 该 芯 片 有 否 特 殊 加 工 需 要 。 而 后 ， 整 片 的 晶 圆 被 切 割 成 一 个 个 独 立 的 处 理 器 芯 片 单 元 。 在 最 初 测 试 中 ， 那 些 检 测 不 合 格 的 单 元 将 被 遗 弃 。 这 些 被 切 割 下 来 的 芯 片 单 元 将 被 采 用 某 种 方 式 进 行 封 装 ， 这 样 它 就 可 以 顺 利 的 插 入 某 种 接 口 规 格 的 主 板 了 。 大 多 数 i n t e l 和 A M D 的 处 理 器 都 会 被 覆 盖 一 个 散 热 层 。 在 处 理 器 成 品 完 成 之 后 ， 还 要 进 行 全 方 位 的 芯 片 功 能 检 测 。 这 一 部 会 产 生 不 同 等 级 的 产 品 ， 一 些 芯 片 的 运 行 频 率 相 对 较 高 ， 于 是 打 上 高 频 率 产 品 的 名 称 和 编 号 ， 而 那 些 运 行 频 率 相 对 较 低 的 芯 片 则 加 以 改 造 ， 打 上 其 它 的 低 频 率 型 号 。 这 就 是 不 同 市 场 定 位 的 处 理 器 。 而 还 有 一 些 处 理 器 可 能 在 芯 片 功 能 上 有 一 些 不 足 之 处 。 比 如 它 在 缓 存 功 能 上 有 缺 陷 （ 这 种 缺 陷 足 以 导 致 绝 大 多 数 的 C P U 瘫 痪 ） ， 那 么 它 们 就 会 被 屏 蔽 掉 一 些 缓 存 容 量 ， 降 低 了 性 能 ， 当 然 也 就 降 低 了 产 品 的 售 价 ， 这 就 是 C e l e r o n 和 S e m p r o n 的 由 来 。   当 C P U 被 放 进 包 装 盒 之 前 ， 一 般 还 要 进 行 最 后 一 次 测 试 ， 以 确 保 之 前 的 工 作 准 确 无 误 。 根 据 前 面 确 定 的 最 高 运 行 频 率 不 同 ， 它 们 被 放 进 不 同 的 包 装 ， 销   往 世 界 各 地 。     读 完 这 些 ， 相 信 你 已 经 对 C P U 的 制 造 流 程 有 了 一 些 比 较 深 入 的 认 识 。 C P U 的 制 造 ， 可 以 说 是 集 多 方 面 尖 端 科 学 技 术 之 大 成 ， C P U 本 身 也 就 那 么 点   大 ， 如 果   把 里 面 的 材 料 分 开 拿 出 来 卖 ， 恐 怕 卖 不 了 几 个 钱 。 然 而 C P U 的 制 造 成 本 是 非 常 惊 人 的 ， 从 这 里 或 许 我 们 可 以 理 解 ， 为 什 么 这 东 西 卖 这 么 贵 了 。     在 测 试 这 个 环 节 很 重 要 ， 比 如 你 的 处 理 器 是 6 3 0 0 还 是 6 4 0 0 就 会 在 这 个 环 节 被 划 分 ， 而   6 3 0 0 天 生 并 不 是 6 3 0 0 ， 而 是 在 测 试 之
后 ， 发 现 处 理 器 不 能 稳 定 的 在 6 4 0 0 标 准 下 工 作 ， 只 能 在 6 3 0 0 标 准 下 稳 定 工 作 ， 于 是 对 处 理 器 定 义 ， 锁 频 ， 定 义   I D ， 封 装 ， 印 上 6 3 0 0 。   我 们 用 A M D 的 来 举 例 ： 同 样 核 心 的 处 理 器 都 是 一 个 生 产 线 下 来 的 ， 如 果 稳 定 工 作 在 2 . 8 G H z ， 1 M * 2 的 缓   存 下 ， 就 被 定 义 为 5 6 0 0 + ， 如 果 缓 存 有 瑕 疵 ， 切 割 有 问 题 的 那 一 半 ， 成 为 5 4 0 0 + ， 如 果 缓 存 没 问 题 而 频 率 只 能 在 2 . 6 G 通 过 测 试 ， 那 么 就 是 5 2 0 0 + ，   如 果 缓 存 有 瑕 疵 ， 就 切 割 成 为 5 0 0 0 + … … … … 一 直 把 它 测 到 3 8 0 0 + ， 如 果 还 不 稳 定 ， 要 么 想 办 法 变 成 速 龙 6 4 单 核 或 者 单 核 闪 龙 ， 或 者 就 是 出 现 过 的 E S 版   的 双 核 闪 龙 ， 如 果 出 现 批 量 不 能 工 作 在 3 8 0 0 + 条 件 下 ， 而 工 作 在 3 6 0 0 + 条 件 下 ， 那 么 3 6 0 0 + 就 上 市 了 ， 如 果 出 现 批 量 能 工 作 在 3 G ， 1 M * 2 条 件 下 ，   那 么 6 0 0 0 + 就 上 市 了 ， 这 就 是 为 什 么 处 理 器 总 是 中 等 型 号 的 先 上 市 ， 高 端 和 底 端 的 后 上 市 ， 当 然 后 期 工 厂 可 能 会 节 约 成 本 专 门 开 出 底 端 的 流 水 线 ， 专 门 生 产 底 端   处 理 器 ， 赛 扬 ， 闪 龙 的 各 种 型 号 就 相 继 上 市 ， 而 高 端 的 流 水 线 因 为 个 别 处 理 器 不 稳 定 转 变 为 底 端 处 理 器 ， 例 如 将 速 龙 6 4 缓 存 切 割 就 变 为 闪 龙 6 4 。   i n t e l   C o r e   i 7 生 产 全 过 程 图 解 生 产 全 过 程 图 解   沙 子 ： 硅 是 地 壳 内 第 二 丰 富 的 元 素 ， 而 脱 氧 后 的 沙 子 ( 尤 其 是 石 英 ) 最 多 包 含 2 5 ％ 的 硅 元 素 ， 以 二 氧 化 硅 ( S i O 2 ) 的 形 式 存 在 ， 这 也 是 半 导 体 制 造 产 业 的 基 础 。 硅 熔 炼 ： 1 2 英 寸 / 3 0 0 毫 米 晶 圆 级 ， 下 同 。 通 过 多 步 净 化 得 到 可 用 于 半 导 体 制 造 质 量 的 硅 ， 学 名 电 子 级 硅 ( E G S ) ， 平 均 每 一 百 万 个 硅 原 子 中 最 多 只 有 一 个 杂   质 原 子 。 此 图 展 示 了 是 如 何 通 过 硅 净 化 熔 炼 得 到 大 晶 体 的 ， 最 后 得 到 的 就 是 硅 锭 ( I n g o t ) 。
单 晶 硅 锭 ： 整 体 基 本 呈 圆 柱 形 ， 重 约 1 0 0 千 克 ， 硅 纯 度   9 9 . 9 9 9 9 ％ 。 硅 锭 切 割 ： 横 向 切 割 成 圆 形 的 单 个 硅 片 ， 也 就 是 我 们 常 说 的 晶 圆   ( W a f e r ) 。 顺 便 说 ， 这 下 知 道 为 什 么 晶 圆 都 是 圆 形 的 了 吧 ？
晶 圆 ： 切 割 出 的 晶 圆 经 过 抛 光 后 变 得 几 乎 完 美 无 瑕 ， 表 面 甚 至 可 以 当 镜 子 。 事 实 上 ， I n t e l 自 己 并 不 生 产 这 种 晶 圆 ， 而 是 从 第 三 方 半 导 体 企 业 那 里 直 接 购 买 成   品 ， 然 后 利 用 自 己 的 生 产 线 进 一 步 加 工 ， 比 如 现 在 主 流 的 4 5 n m   H K M G ( 高 K 金 属 栅 极 ) 。 值 得 一 提 的 是 ， I n t e l 公 司 创 立 之 初 使 用 的 晶 圆 尺 寸 只 有 2 英 寸 / 5 0 毫 米 光 刻 胶 ( P h o t o   R e s i s t ) ： 图 中 蓝 色 部 分 就 是 在 晶 圆 旋 转 过 程 中 浇 上 去 的 光 刻 胶 液 体 ， 类 似 制 作 传 统 胶 片 的 那 种 。 晶 圆 旋 转 可 以 让 光 刻 胶 铺 的 非 常 薄 、 非 常 平 。
光 刻 ： 光 刻 胶 层 随 后 透 过 掩 模 ( M a s k ) 被 曝 光 在 紫 外 线 ( U V ) 之 下 ， 变 得 可 溶 ， 期 间 发 生 的 化 学 反 应 类 似 按 下 机 械 相 机 快 门 那 一 刻 胶 片 的 变 化 。 掩 模 上 印 着 预   先 设 计 好 的 电 路 图 案 ， 紫 外 线 透 过 它 照 在 光 刻 胶 层 上 ， 就 会 形 成 微 处 理 器 的 每 一 层 电 路 图 案 。 一 般 来 说 ， 在 晶 圆 上 得 到 的 电 路 图 案 是 掩 模 上 图 案 的 四 分 之 一 。 光 刻 ： 由 此 进 入 5 0 - 2 0 0 纳 米 尺 寸 的 晶 体 管 级 别 。 一 块 晶 圆 上 可 以 切 割 出 数 百 个 处 理 器 ， 不 过 从 这 里 开 始 把 视 野 缩 小 到 其 中
一 个 上 ， 展 示 如 何 制 作 晶 体 管 等 部   件 。 晶 体 管 相 当 于 开 关 ， 控 制 着 电 流 的 方 向 。 现 在 的 晶 体 管 已 经 如 此 之 小 ， 一 个 针 头 上 就 能 放 下 大 约 3 0 0 0 万 个 。 溶 解 光 刻 胶 ： 光 刻 过 程 中 曝 光 在 紫 外 线 下 的 光 刻 胶 被 溶 解 掉 ， 清 除 后 留 下 的 图 案 和 掩 模 上 的 一 致 蚀 刻 ： 使 用 化 学 物 质 溶 解 掉 暴 露 出 来 的 晶 圆 部 分 ， 而 剩 下 的 光 刻 胶 保 护 着 不 应 该 蚀 刻 的 部 分 。
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